Lam Research 科林研發（那斯達克股票代號：LRCX）推出了 Dextro™ 半導體業界首款協作機器人 （cobot），旨在優化晶圓製造設備的關鍵維護任務。Dextro 現已部署至全球多個先進晶圓廠中，可實現準確、高精度的維護保養，以最大限度地減少設備停機時間和生產變異。它驅動了一步到位（FTR）的顯著成果，從而提高了良率。
現今的晶圓製造設備利用先進的物理學、機器人技術和化學來製造奈米級半導體。典型的晶圓廠內通常有數百種製程設備，每一種都需要定期進行複雜的維護保養。Dextro 旨在改善次微米級精度的設備維護重複性，以期提高設備的成本效益。
科林研發客戶服務事業群副總裁 Chris Carter 表示：「Dextro 的推出是半導體製造設備維護保養領域裡一次激勵人心的技術大躍進。它能與晶圓廠工程師協同合作，以超越人類工作能力的精確度和重複性，執行複雜的維護任務，實現更長的設備正常運行時間和更高的生產良率。Dextro 是科林研發廣泛的設備和服務組合中強而有力的生力軍，可協助晶片製造商優化其晶圓廠的成本和生產力。」
隨著晶圓廠規模、地域多元化和設備複雜性不斷增加，晶圓製造商需要透過提高自動化程度和效率來優化其晶圓廠工程師的效能。尤其，當全球半導體職缺的需求數量持續超過業界培養熟練工程師的供給數量，這一點將變得更加重要。1
精確性在設備維護保養中至關重要，其中子系統的準確重新組裝更是關鍵。實現 FTR 可節省時間和成本。重複性的維護保養還可以減少耗材、勞動力和生產停機時間的相關浪費，從而減少生產變異並提高生產良率。
「當製造設備需要維護保養時，必須迅速有效地完成工作，以避免延長設備停機時間和浪費成本。」三星電子副總裁兼記憶體蝕刻技術團隊負責人 Young Ju Kim 表示，「Dextro 正確無誤的維護保養能力有助於改善生產變異和良率。」 Dextro 是一種帶有機械手臂的行動裝置，可由晶圓廠的技術人員或工程師進行操控。
Dextro 為科林研發的智慧解決方案產品組合一員，可提高半導體晶圓廠的效率並降低營運成本。該解決方案包括具有自主校準和自適應維護的 Lam Equipment Intelligence® 製程設備，以及使用大數據、機器學習、人工智慧和科林研發的產業知識來實現更好生產力成果的 Equipment Intelligence® 服務。