中研院發布量子晶片製程科學成果 揭牌兩項研發平台推動臺灣量子科技研發

中央研究院於本月 10 日發表量子電腦晶片製程科學研發成果，不僅成功以 8 吋晶圓機台製作高品質超導量子位元，也揭牌國內首座量子晶片製程研發平台與量子計算測試平台。

出席揭牌儀式的廖俊智院長指出：「發展量子科學必須同時投入高階製程研發人力，及尖端硬體設施。本院所設置的兩項重要量子設施將開放全國學研界合作使用。中研院希望藉由資源整合與平台共享的效益，推動我國量子科技的發展，並吸引更多優秀人才投入量子關鍵領域的研究。」

中研院關鍵議題研究中心之量子電腦專題中心執行長陳啟東特聘研究員說明，隨量子位元持續增加，量子晶片製程控制與均勻性要求日益嚴格。我國雖在半導體晶片製程獨步全球，但半導體晶片與量子晶片的製程及需求有顯著差異，突破製程穩定度與均勻性的技術關卡為當前量子電腦面臨的關鍵挑戰。中研院團隊過去三年主導相關研究計畫，除了在傳統4吋機台上成功驗證尖端超導量子位元製程，並達到國際水準以外，同時與工研院電光所及國研院半導體中心密切合作，進一步在自動化 8 吋機台上，成功開發數種超導量子位元的新式製程。此次中研院在南部院區建置全新 8 吋晶圓製程研發與量子計算設施平台，達成國內量子晶片研發的重要里程碑。